Вакуумно-плазменные процессы и технологии
Ефремов, А. М., Светцов, В. И., Рыбкин, В. В.
Вакуумно-плазменные процессы и технологии, [Текст], учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности "Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники", Федеральное агентство по образованию Российской Федерации, Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Ивановский государственный химико-технологический университет
Иваново :
Ивановский государственный химико-технологический университет ,
2006 .-
260 с. .-
ил.
