Диффузионные процессы в германий-кремниевых гетероструктурах при импульсных лазерных воздействиях
Гацкевич, Е. И. , Ивлев, Г. Д., Гундина М. А.
Диффузионные процессы в германий-кремниевых гетероструктурах при импульсных лазерных воздействиях, [Текст]
Минск :
БНТУ ,
2020 .-
ил.
Приборостроение - 2020, Минск : БНТУ, 2020, С. 433-435, RU/IS/BASE/672143416, 978-985-583-587-6
