Индекс УДК | 621.315.592 |
Диффузионные процессы в германий-кремниевых гетероструктурах при импульсных лазерных воздействиях Текст |
|
Место издания | Минск |
Издательство | БНТУ |
Дата издания оригинала | 2020 |
Приборостроение - 2020 Минск : БНТУ, 2020 С. 433-435 RU/IS/BASE/672143416 978-985-583-587-6 |