Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремние ионно-лучевым распылением Mo, Cr
Барайшук, С. М., Вертель, М. , Будзинский, М. , Бобрович, О. Г. , Михалкович, О. М.
Особенности формирования тонких пленок функциональных покрытий, осажденных на кремние ионно-лучевым распылением Mo, Cr, [Электронный ресурс]
Минск :
БГТУ ,
2021 .-
ил., табл.
RU/IS/BASE/693064986, Передовые технологии и материалы будущего, Минск : БГТУ, 2021, Т. 2. - С. 25-30
