Активные элементы МЭМС на основе двухслойных мембранных структур
Шахвердиев, М. А., Чернаусик, О. М., Биран, С. А., Короткевич, А. В.
Активные элементы МЭМС на основе двухслойных мембранных структур, [Текст]
Минск :
БГУИР ,
2023 .-
Технические средства защиты информации, Минск : БГУИР, 2023, С. 100, RU/IS/BASE/749662376, 978-985-543-716-2