| Автор | Шахвердиев, М. А. |
|
Активные элементы МЭМС на основе двухслойных мембранных структур Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГУИР |
| Дата издания оригинала | 2023 |
| Ключевые слова | двухслойные мембранные структуры |
| Другие авторы | Чернаусик, О. М. |
|
Технические средства защиты информации Минск : БГУИР, 2023 С. 100 RU/IS/BASE/749662376 978-985-543-716-2 |
