Исследование возможностей спектральной эллипсометрии для измерения толщины тонких и сверхтонких пленок
Гуревич, В. Л. , Белова, Е. А.
Исследование возможностей спектральной эллипсометрии для измерения толщины тонких и сверхтонких пленок, [Текст]
Минск :
БНТУ ,
2020 .-
Приборостроение - 2020, Минск : БНТУ, 2020, С. 189-190, RU/IS/BASE/672143416, 978-985-583-587-6
