Металлизация переходных отверстий в кремнии для создания токопроводящих межсоединений
Хмыль, А. А., Кузьмар, И. И., Кушнер, Л. К., Степанова, Л. И., Лазарук, С. К., Долбик, А. В.
Металлизация переходных отверстий в кремнии для создания токопроводящих межсоединений, [Текст]
Минск :
БГТУ ,
2016 .-
ил.
Современные электрохимические технологии и оборудование, 24-25 ноября 2016 г., Минск : БГТУ, 2016, С. 10-13, RU/IS/BASE/541501360, 978-985-530-570-6
