Расчет неравномерности покрытий, формируемых методом ионно-плазменного распыления
Шекелевский, В. В., Диас, Р., Котов, Д. А.
Расчет неравномерности покрытий, формируемых методом ионно-плазменного распыления, [Текст]
Минск :
Беларуская навука ,
2019 .-
ил.
Молодежь в науке - 2019. Аграрные, биологические, гуманитарные, медицинские, физико-математические, физико-технические науки, химия и науки о Земле, Минск : Беларуская навука, 2019, С. 503-506, RU/IS/BASE/638889749, 978-985-08-2501-8
