Экспериментальное исследование состава газовой фазы при получении нитрида кремния методом СВС
Баринов, Ю. Н., Чемагина, Е. А., Никитин, М. И., Иванов, В. А.
Экспериментальное исследование состава газовой фазы при получении нитрида кремния методом СВС, [Текст]
Минск :
ФТИ НАН Беларуси ,
2012 .-
табл.
Современные методы и технологии создания и обработки материалов, Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2012, Кн. 1. - С. 33-37, RU/IS/BASE/605183427, 978-985-6441-29-8 (кн. 1)
