Индекс УДК | 546.543.261 |
Автор | Баринов, Ю. Н. |
Экспериментальное исследование состава газовой фазы при получении нитрида кремния методом СВС Текст |
|
Место издания | Минск |
Издательство | ФТИ НАН Беларуси |
Дата издания оригинала | 2012 |
Ключевые слова |
газовая фаза горение кремния в азоте нитрид кремния самораспространяющийся высокотемпературный синтез |
Другие авторы | Чемагина, Е. А. |
Современные методы и технологии создания и обработки материалов Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2012 Кн. 1. - С. 33-37 RU/IS/BASE/605183427 978-985-6441-29-8 (кн. 1) |