Поиск

Экспериментальное исследование состава газовой фазы при получении нитрида кремния методом СВС

Авторы: Баринов, Ю. Н. Чемагина, Е. А. Никитин, М. И. Иванов, В. А.
Местонахождение Подробная информация
Индекс УДК 546.543.261
Автор Баринов, Ю. Н.
Экспериментальное исследование состава газовой фазы при получении нитрида кремния методом СВС
Текст
Место издания Минск
Издательство ФТИ НАН Беларуси
Дата издания оригинала 2012
Ключевые слова газовая фаза
горение кремния в азоте
нитрид кремния
самораспространяющийся высокотемпературный синтез
Другие авторы Чемагина, Е. А.
Современные методы и технологии создания и обработки материалов
Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2012
Кн. 1. - С. 33-37
RU/IS/BASE/605183427
978-985-6441-29-8 (кн. 1)