Электрохимическое осаждение легированных марганцем кремний-углеродных пленок для импедансометрических датчиков
Михайлова, Т. С., Мясоедова, Т. Н., Пташник, В. В., Бут, А. А.
Электрохимическое осаждение легированных марганцем кремний-углеродных пленок для импедансометрических датчиков, [Электронный ресурс]
Минск :
БГТУ ,
2022 .-
ил.
Инновационные материалы и технологии - 2022, Минск : БГТУ, 2022, С. 19-22, RU/IS/BASE/706791907
