Индекс УДК | 544.65 |
Автор | Михайлова, Т. С. |
Электрохимическое осаждение легированных марганцем кремний-углеродных пленок для импедансометрических датчиков Электронный ресурс |
|
Место издания | Минск |
Издательство | БГТУ |
Дата издания оригинала | 2022 |
Ключевые слова | кремний-углеродные пленки |
Другие авторы | Мясоедова, Т. Н. |
Инновационные материалы и технологии - 2022 Минск : БГТУ, 2022 С. 19-22 RU/IS/BASE/706791907 |