Применение ионных источников в технологии вакуумно-плазменного осаждения покрытий
Посылкина, О. И., Шкробот, В. А., Борздова, О. М. , Жоглик, И. Н., Ковальчук, Е. В.
Применение ионных источников в технологии вакуумно-плазменного осаждения покрытий, [Текст]
Минск :
ФТИ НАН Беларуси ,
2020 .-
ил.
Современные методы и технологии создания и обработки материалов, Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2020, Кн. 2. - С. 226-233, RU/IS/BASE/678216794, 978-985-6441-62-5 (кн. 2)
