| Индекс УДК | 621.793.1 |
|
Применение ионных источников в технологии вакуумно-плазменного осаждения покрытий Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | ФТИ НАН Беларуси |
| Дата издания оригинала | 2020 |
|
Современные методы и технологии создания и обработки материалов Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2020 Кн. 2. - С. 226-233 RU/IS/BASE/678216794 978-985-6441-62-5 (кн. 2) |
