| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/225064206 |
| Дата корректировки | 21:03:54 13 октября 2015 г. |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 546.28 |
| Баранов, И. Л. | |
|
Объемное электрохимическое травление полупроводникового монокристаллического кремния в растворах с Hf Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 15 назв. |
|
электрохимическое травление полупроводниковый монокристаллический кремний |
|
|
Табулина, Л. В. Русальская, Т. Г. |
|
|
Журнал прикладной химии 2012 Т. 85, № 10. - С. 1609-1614 |
|
| Тип документа | b |
