Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Объемное электрохимическое травление полупроводникового монокристаллического кремния в растворах с Hf
Поиск

Объемное электрохимическое травление полупроводникового монокристаллического кремния в растворах с Hf

Авторы: Баранов, И. Л. Табулина, Л. В. Русальская, Т. Г.
Подробная информация
Индекс УДК 546.28
Объемное электрохимическое травление полупроводникового монокристаллического кремния в растворах с Hf
Текст
Журнал прикладной химии
2012
Т. 85, № 10. - С. 1609-1614