| Маркер записи | n 22 3 4500 |
| Контрольный номер | opsp23_to131_no8_ss1074_ad1 |
| Дата корректировки | 9:24:43 27 декабря 2023 г. |
| Кодируемые данные | 231214s2023||||RU|||||||||||#||||# rus0| |
|
10. 61011/OS. 2023. 08. 56298. 4846-23 DOI |
|
| Системный контрольный номер | RUMARS-opsp23_to131_no8_ss1074_ad1 |
| AR-MARS | |
| Служба первич. каталог. |
Фундаментальная библиотека Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого МАРС |
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка издания |
rus rus |
| Индекс УДК | 535.2/3 |
| Индекс ББК | 22.343 |
| Таблицы для массовых библиотек | |
|
Анциферов, П. С. Институт спектроскопии РАН 070 |
|
|
Методика определения коэффициента отражения в скользящем падении при использовании одноканальной схемы измерения П. С. Анциферов, Л. А. Дорохин, В. М. Макарова |
|
| Объем | 1 файл (588 Кб) |
| Текст | |
| электронный | |
| Примечание | Загл. с титул. экрана |
| Библиография | Библиогр.: с. 1079 (15 назв.) |
| Аннотация | Измерение коэффициента отражения в скользящем падении является одним из основных методов для определения оптических констант материалов в диапазоне экстремального ультрафиолета. В настоящей работе описывается одноканальный метод такого измерения, в котором падающее и отражённое излучение, диспергированное в спектрометре скользящего падения, регистрируется одновременно при помощи CCD-матрицы. В работе предлагается алгоритм обработки спектрограмм, который основан на построении функции спектральной модуляции сигнала в спектре. Такой подход позволяет исключить влияние непрерывного спектрального фона на измеряемую величину коэффициента отражения. Разработанная методика была применена для обработки результатов эксперимента по измерению коэффициента отражения кремния при угле скольжения 5 градусов в спектральном диапазоне 8-25 nm. В качестве спектрального прибора использовался Quasi-Flat Field спектрометр, источник излучения - быстрый капиллярный разряд. |
| Примеч. о целев. назн. | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
|
Физика AR-MARS Физическая оптика AR-MARS |
|
| Ключевые слова |
падающий свет (физика) отражение падающего света коэффициент отражения измерение коэффициента отражения одноканальные схемы экстремальный ультрафиолет скользящее падение (физика) капиллярные разряды |
|
Дорохин, Л. А. Институт спектроскопии РАН 070 Макарова, В. М. Институт спектроскопии РАН; Высшая школа экономики 070 |
|
| ISSN | 2782-6694 |
| Название источника | Оптика и спектроскопия |
| Место и дата издания | 2023 |
| Прочая информация | Т. 131, № 8. - С. 1074-1079 |
|
RU 19013582 20231214 RCR |
|
|
RU 19013582 20231214 |
|
|
RU AR-MARS 20231215 RCR |
|
|
RU AR-MARS 20231215 |
|
|
https://www.elibrary.ru/item.asp?id=55179354 |
|
| Тип документа | b |
|
code year to no ss ad |
|
|
opsp 2023 131 8 1074 1 |
|
| 13761 | |
| Физическая оптика | |
| drc cu | |
| uabc | |
| html |
