| Индекс УДК | 535.2/3 |
|
Методика определения коэффициента отражения в скользящем падении при использовании одноканальной схемы измерения П. С. Анциферов, Л. А. Дорохин, В. М. Макарова |
|
| Объем | 1 файл (588 Кб) |
| Примечание | Загл. с титул. экрана |
| Аннотация | Измерение коэффициента отражения в скользящем падении является одним из основных методов для определения оптических констант материалов в диапазоне экстремального ультрафиолета. В настоящей работе описывается одноканальный метод такого измерения, в котором падающее и отражённое излучение, диспергированное в спектрометре скользящего падения, регистрируется одновременно при помощи CCD-матрицы. В работе предлагается алгоритм обработки спектрограмм, который основан на построении функции спектральной модуляции сигнала в спектре. Такой подход позволяет исключить влияние непрерывного спектрального фона на измеряемую величину коэффициента отражения. Разработанная методика была применена для обработки результатов эксперимента по измерению коэффициента отражения кремния при угле скольжения 5 градусов в спектральном диапазоне 8-25 nm. В качестве спектрального прибора использовался Quasi-Flat Field спектрометр, источник излучения - быстрый капиллярный разряд. |
| Название источника | Оптика и спектроскопия |
| Место и дата издания | 2023 |
| Прочая информация | Т. 131, № 8. - С. 1074-1079 |
|
https://www.elibrary.ru/item.asp?id=55179354 |
