Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Низкотемпературные омические контакты на основе Ta/Al к гетероэпитаксиальным структурам AlGaN/GaN на кремниевых подложках
Поиск

Низкотемпературные омические контакты на основе Ta/Al к гетероэпитаксиальным структурам AlGaN/GaN на кремниевых подложках

Авторы: Ерофеев, Е. В. Федин, И. В. Федина, В. В. Фазлеев, А. П.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Низкотемпературные омические контакты на основе Ta/Al к гетероэпитаксиальным структурам AlGaN/GaN на кремниевых подложках
Электронный ресурс
Ключевые слова низкотемпературные омические контакты
Физика и техника полупроводников
2019
Т. 53, вып. 2. - С. 249-252
Имя макрообъекта Ерофеев_низкотемпературные