| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Очистка от оксидов поверхности пластин полупроводника InSb для создания латеральных спиновых клапанов Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | полупроводники |
|
Физика и техника полупроводников 2019 Т. 53, вып. 2. - С. 277-280 |
|
| Имя макрообъекта | Виглин_очистка |
