Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Имплантация ионов кремния в сапфир: малые дозы
Поиск

Имплантация ионов кремния в сапфир: малые дозы

Авторы: Белова, Н. Е. Шемардов, С. Г. Фанченко, С. С. Головкова, Е. А. Кондратьев, О. А.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.592
Имплантация ионов кремния в сапфир: малые дозы
Электронный ресурс
Ключевые слова ионная имплантация
Физика и техника полупроводников
2020
Т. 54, вып. 8. - С. 766-770
Имя макрообъекта Белова_имплантация