| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/509464198 |
| Дата корректировки | 13:49:58 22 февраля 2016 г. |
| Служба первич. каталог. | Боровик |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 546.28:535.42/.44 |
| Базаров, В. В. | |
|
Анализ поверхности кремния, имплантированного ионами серебра, методами спектральной эллипсометрии и дифракции отраженных электронов Текст |
|
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Библиография | Библиогр.: 16 назв. |
|
пористый кремний ионная имплантация спектральная эллипсометрия дифракция отраженных электронов |
|
| Другие авторы | Нуждин, В. И. |
|
Валеев, В. Ф. Воробьев, В. В. Осин, Ю. Н. Степанов, А. Л. |
|
|
Журнал прикладной спектроскопии 2016 Т. 83, № 1. - С. 55-59 |
|
| Тип документа | b |
