Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Анализ поверхности кремния, имплантированного ионами серебра, методами спектральной эллипсометрии и дифракции отраженных электронов
Поиск

Анализ поверхности кремния, имплантированного ионами серебра, методами спектральной эллипсометрии и дифракции отраженных электронов

Авторы: Базаров, В. В. Нуждин, В. И. Валеев, В. Ф. Воробьев, В. В. Осин, Ю. Н. Степанов, А. Л.
Подробная информация
Индекс УДК 546.28:535.42/.44
Анализ поверхности кремния, имплантированного ионами серебра, методами спектральной эллипсометрии и дифракции отраженных электронов
Текст
Другие авторы Нуждин, В. И.
Журнал прикладной спектроскопии
2016
Т. 83, № 1. - С. 55-59