Импульсный испаритель для сверхбыстрого осаждения тонких пленок в сверхвысоком вакууме
Гуральник, А. С., Галкин, Н. Г., Иванов, В. А., Иванченко, М. В., Чусовитин, Е. А.
Импульсный испаритель для сверхбыстрого осаждения тонких пленок в сверхвысоком вакууме, [Текст]
Ил.3