Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Импульсный испаритель для сверхбыстрого осаждения тонких пленок в сверхвысоком вакууме
Поиск

Импульсный испаритель для сверхбыстрого осаждения тонких пленок в сверхвысоком вакууме

Авторы: Гуральник, А. С. Галкин, Н. Г. Иванов, В. А. Иванченко, М. В. Чусовитин, Е. А.
Подробная информация
Индекс УДК 539.216.2+621.793
Импульсный испаритель для сверхбыстрого осаждения тонких пленок в сверхвысоком вакууме
Текст