Объемное электрохимическое травление полупроводникового монокристаллического кремния в растворах с Hf
Баранов, И. Л., Табулина, Л. В., Русальская, Т. Г.
Объемное электрохимическое травление полупроводникового монокристаллического кремния в растворах с Hf , [Текст]
ил.
Журнал прикладной химии, 2012, Т. 85, № 10. - С. 1609-1614
