Особенности самоорганизации высокоупорядоченных нанокластеров германия при осаждении пленок поликристаллического кремния, легированного германием
Ковалевский, А. А., Плякин, Д. В., Строгова, А. С., Борисенко, В. Е.
Особенности самоорганизации высокоупорядоченных нанокластеров германия при осаждении пленок поликристаллического кремния, легированного германием, [Текст]
ил.
Материалы, технологии, инструменты, 2010, Т. 15, № 3 . - С. 20-26
