Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Особенности самоорганизации высокоупорядоченных нанокластеров германия при осаждении пленок поликристаллического кремния, легированного германием
Поиск

Особенности самоорганизации высокоупорядоченных нанокластеров германия при осаждении пленок поликристаллического кремния, легированного германием

Авторы: Ковалевский, А. А. Плякин, Д. В. Строгова, А. С. Борисенко, В. Е.
Подробная информация
Индекс УДК 621.315.595:539.216.2
Особенности самоорганизации высокоупорядоченных нанокластеров германия при осаждении пленок поликристаллического кремния, легированного германием
Текст
Материалы, технологии, инструменты
2010
Т. 15, № 3 . - С. 20-26