Имплантация ионов кремния в сапфир: малые дозы
Белова, Н. Е., Шемардов, С. Г., Фанченко, С. С., Головкова, Е. А., Кондратьев, О. А.
Имплантация ионов кремния в сапфир: малые дозы, [Электронный ресурс]
цв. ил.
Физика и техника полупроводников, 2020, Т. 54, вып. 8. - С. 766-770
Белова_имплантация
