Формирование низкорезистивного Cu[3]Ge cоединения при низкотемпературной обработке в потоке атомарного водорода
Ерофеев, Е. В., Казимиров, А. И., Федин, И. В., Кагадей, В. А.
Формирование низкорезистивного Cu[3]Ge cоединения при низкотемпературной обработке в потоке атомарного водорода, [Электронный ресурс]
ил., табл.
// Физика и техника полупроводников .-
2016 .-
Т. 50, вып. 9. - С. 1258-1262 .-
Ерофеев_формирование
