Фотонный отжиг имплантированных кремнием слоев нитрида галлия
Селезнев, Б. И., Селезнёв, Б. И., Москалёв, Г. Я., Фёдоров, Д. Г. , Москалев, Г. Я., Федоров, Д. Г.
Фотонный отжиг имплантированных кремнием слоев нитрида галлия, [Электронный ресурс]
ил., табл.
Физика и техника полупроводников, 2016, Т. 50, вып. 6. - С. 848-853
Селезнев_фотонный
