| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Фотонный отжиг имплантированных кремнием слоев нитрида галлия Электронный ресурс |
|
| Ключевые слова | фотонный отжиг |
|
Физика и техника полупроводников 2016 Т. 50, вып. 6. - С. 848-853 |
|
| Имя макрообъекта | Селезнев_фотонный |
