| Индекс УДК | 543.27.8 |
| Автор | Олиферович, Н. М. |
|
Метод магнетронного распыления для чувствительных элементов газоанализаторов Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2021 |
| Ключевые слова | магнетронное распыление |
| Другие авторы | Анкуда, Максим Анатольевич |
|
Передовые технологии и материалы будущего Минск : БГТУ, 2021 Т. 1. - С. 234-238 RU/IS/BASE/693064763 |
