| Индекс УДК | 544.42:542.952.6:547.313 |
| Автор | Галковский, Тимур Вячеславович |
|
Получение тонких полупроводниковых пленок оксосульфида олова (II) методом SILD Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Издательский центр БГУ |
| Дата издания оригинала | 2019 |
| Ключевые слова |
SILD, жидкофазный метод жидкофазный метод оксосульфид олова пленки полупроводниковые полупроводниковые пленки скорость осаждения элементный состав сульфиды олова электросопротивление |
