| Индекс УДК | 541.64:536.4 |
| Автор | Глоба, А. И. |
|
Разработка полиимидной композиции для формирования специальных покрытий при производстве интегральных схем науч. рук. Э. Т. Крутько Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БНТУ |
| Дата издания | 2005 |
| Ключевые слова | полиимидная композиция |
|
Минск : БНТУ, 2005 С. 196-198 Новые материалы и технологии их обработки RU/IS/BASE/605183154 |
