| Индекс УДК | 537.5 |
| Автор | Волобуев, Влас Сергеевич |
|
Исследование свойств ионноимплантированных фоторезистов методом ЭПР Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания | 2016 |
| Ключевые слова |
бесконтактный контроль ионная имплантация ионноимплантированные фоторезисты контроль качества метод ЭПР |
|
Технология органических веществ Минск : БГТУ, 2016 С. 61 RU/IS/BASE/512562998 |
