| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/527698511 |
| Дата корректировки | 8:02:23 8 февраля 2023 г. |
| Служба первич. каталог. |
Яновская БГТУ БГТУ |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 541.64:536.4 |
| Автор | Крутько, Эльвира Тихоновна |
| Титул (звания) | д-р хим. наук, профессор |
| Полное имя | Крутько, Э. Т. |
|
Использование полиимидов в процессе фотолитографии Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2016 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | схем., табл. |
| Библиография | Библиогр.: 15 назв. |
| Служебное примечание | Журавлёва, Мария Валерьевна |
| Ключевые слова |
микроэлектронная промышленность полиамидокислота полиимиды тетрамалеинамидокислота фотолитография |
| Другие авторы | Журавлева, Мария Валерьевна |
| Титул (звание) | научный сотрудник |
| Полное имя | Журавлева, М. В. |
|
Мартинкевич, Александр Александрович канд. хим. наук, доцент Мартинкевич, А. А. Прокопчук, Николай Романович чл.-кор. НАН Беларуси, д-р хим. наук, профессор Прокопчук, Н. Р. |
|
| Организация/ юрисдикция | Белорусский государственный технологический университет |
| Другие уровни | Кафедра технологии нефтехимического синтеза и переработки полимерных материалов |
|
Труды БГТУ. №4. Химия, технология органических веществ и биотехнология 2016 С. 59-66 RU/IS/BASE/527609564 [ко всему сборнику] Издается с июля 1993 года 1683-0377 |
|
| Тип документа | b |
