Морфология и свойства поверхности системы МО/стеклянная подложка, формируемой ионным и ионно-ассистируемым осаждением
Бобрович, Олег Георгиевич
Морфология и свойства поверхности системы МО/стеклянная подложка, формируемой ионным и ионно-ассистируемым осаждением, [Электронный ресурс]
Минск :
БГТУ ,
2021 .-
Информационные технологии, Минск : БГТУ, 2021, С. 33-36, RU/IS/BASE/670161917