Изучение композиционного состава приповерхностных слоев структур Me/Si, полученных ионно-ассистируемым осаждением металлсодержащих покрытий
Тульев, Валентин Валентинович
Изучение композиционного состава приповерхностных слоев структур Me/Si, полученных ионно-ассистируемым осаждением металлсодержащих покрытий, [Электронный ресурс]
Минск :
БГТУ ,
2021 .-
ил., табл.
Информационные технологии, Минск : БГТУ, 2021, С. 36-38, RU/IS/BASE/670161917
