Влияние ионно-ассистируемого осаждения металлсодержащих покрытий на содержание водорода в Cr/Si, Ti/Si и Zr/Si-структурах
Тульев, Валентин Валентинович
Влияние ионно-ассистируемого осаждения металлсодержащих покрытий на содержание водорода в Cr/Si, Ti/Si и Zr/Si-структурах, [Текст]
Минск :
БГТУ ,
2020 .-
ил., табл.
Труды БГТУ. Сер. 3, Физико-математические науки и информатика, 2020, № 2 (236). - С. 85-88, RU/IS/BASE/656174481, [ко всему сборнику] Издается с июля 1993 года, 2520-6141