Структура и свойства тугоплавких покрытий при ионно-плазменном осаждении
Гольцев, М. В., Гольцев, В. П., Чаевский, Вадим Витальевич
Структура и свойства тугоплавких покрытий при ионно-плазменном осаждении, [Текст]
Взаимодействие излучений с твердым телом : материалы IV международной конференции, Минск, 3-5 октября 2001 г., Минск : БГУ, 2001, С. 73-75
