Ионно-ассистированное в условиях саморадиациии осаждение покрытий
Ташлыков, И. С.
Ионно-ассистированное в условиях саморадиациии осаждение покрытий
ил., табл.
Труды Белорусского государственного технологического университета. Серия 6. Физико-математические науки и информатика, 2000, Вып. 8. - С. 119-129