Позитивно-негативные фоторезисты в технологии литографии
Глоба, И. И., Прокопчук, Н. Р.
Позитивно-негативные фоторезисты в технологии литографии, БГТУ
Разработка импортозамещающих технологий и материалов в химической промышлености : материалы международной научно-технической конференции, 20-22 октября 1999 г., Минск, 1999, С. 119-121
