Чувствительные элементы газоанализаторов, на основе покрытий, получаемых методом магнетронного распыления
Олиферович, Надежда Михайловна, Анкуда, Максим Анатольевич, Карпович, Дмитрий Семенович
Чувствительные элементы газоанализаторов, на основе покрытий, получаемых методом магнетронного распыления, [Электронный ресурс]
ил., табл.
Новые технологии и материалы, автоматизация производства : сборник статей международной научно-технической конференции, посвященной 55-летию Брестского государственного технического университета, Брест, 29-30 сентября 2021 г., Брест : БрГТУ, 2021, С. 13-16