Рост углеродной пленки, образующейся на поверхности полимерного диэлектрика в процессе ионной имплантации
Ильюшонок, Ирина Петровна , Почтенный, Артем Евгеньевич
Рост углеродной пленки, образующейся на поверхности полимерного диэлектрика в процессе ионной имплантации, [Текст]
ил.
Взаимодействие атомных частиц с твердым телом : материалы VIII Всесоюзной конференции, 7-9 января 1987 г., Москва, 1987, Т. 2. - С. 273-274