Состав и морфология покрытий Ti, W, осажденных на кремний при ионном ассистировании
Бобрович, Олег Георгиевич, Михалкович, О. М., Ташлыков, И. С.
Состав и морфология покрытий Ti, W, осажденных на кремний при ионном ассистировании, Текст
Физика и химия обработки материалов, 2014, № 1. - С. 31-36