Параметры процесса ионно-ассистируемого осаждения металлооксидных полупроводниковых пленок сложного состава ряда элементов и управление свойствами пленок Отчет о НИР (промежуточ.) БГТУ;Руководитель Шишкин Н.Я.-ГР20012945 |
|
Минск 2001 |
|
37с |