Изучение кинетики и механизма термического окисления в воздушной атмосфере пленок олова и меди (в том числе смешанных) нанометровой толщины,получаемых магнетронным распылением и исследование их транспортных и газочувствительных свойств Отчет о НИР (промежуточ.) БГТУ;Руководитель Шишкин Н.Я.-ГР19961263 |
|
Минск 1998 |
|
38с |