Индекс УДК | 669.056.9(047.31) |
Разработка составов покрытий, получаемых вакуумным ионно-плазменным напылением и осаждением, исследование закономерностей формирования структуры и разработка технологических режимов Текст отчет о НИР (промежуточный) Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный технологический университет" ; рук. С. И. Карпович ; исполн.: С. И. Карпович, О. Ю. Пискунова |
|
Основные сведения об издании | ГБ 11-146 ; ГР 20114312 |
Дополнительные сведения об издании | Инв. 7718н.о. |
Место издания | Минск |
Дата издания | 2012 |
Объем | 22, [5] с. |
Ключевые слова | ионно-плазменное напыление |